Come strumento di misura di precisione per l'analisi della morfologia dei difetti, il suo scopo principale è quello di effettuare il rilevamento dei difetti sui campioni. I dati forniti dagli strumenti non possono permettere errori.Park NX20， Questo microscopio di forza atomica ad alta precisione di grandi campioni è molto apprezzato nel settore dei semiconduttori e dei dischi rigidi per la precisione dei dati.

Una vasta gamma di funzioni analitiche

Park NX20 aiuta i clienti a individuare rapidamente le cause del guasto del prodotto e a sviluppare soluzioni più creative. L'alta precisione fornisce agli utenti dati ad alta risoluzione che consentono loro di concentrarsi sul lavoro. Allo stesso tempo, la modalità di scansione senza contatto rende le punte della sonda più affilate e resistenti, senza dover spendere molto tempo e denaro per la sostituzione frequente della sonda.

perFA e laboratori di ricerca offrono soluzioni di morfometria precise

· Misurazione della rugosità superficiale di campioni e substrati

· Immagine e analisi di controllo dei difetti

· Modalità di scansione elettronica ad alta risoluzione

· Scoppiamento per misurazioni strutturali tridimensionali leader del settoreSistema di scansione XY

· Basso rumoreIl rilevatore Z misura con precisione la superficie del microscopio a forza atomica

Caratteristiche del Park NX20

lBasso rumoreSensore di posizione XYZ

lScansione automatica di campioni multipli

lDesign incorporato scorrevole della testa di scansione

lSlot di estensione pluggabile per modalità di scansione avanzata

lad alta velocitàControllatore elettronico digitale a 24 bit

lad alta velocitàScanner a asse Z con raggio di scansione fino a 15 µm

lCodificatore integratoPortacampioni automatici XY

lBanco campioni facile da usare

lIntegrazione ottica coassiale ad alta potenzaIlluminazione a LED e sistemi CCD.

lAutomaticoSistema di movimento e messa a fuoco dell'asse Z

Park Parametri tecnici NX20

Scanner

Scanner Z

Scanner flessibile ad alta forza di spinta

Intervalo di scansione:15 µm (opzionale 30 µm)
Alto livello di segnale rumore:30 pm
(RMS, a larghezza di banda 0,5 kHz)

Scanner XY

Guida flessibile con controllo a circuito chiusoScanner XY

Scala di scansione:100 µm × 100 µm
(opzionale 50 µm x 50 µm)

Tavola di azionamento

Gamma di percorso della tavola di spostamento Z: 25 mm (Motorized)
Focus sulla portata del campione : 15 mm (Motorized)
Gamma di percorso della tavola di spostamento XY: 200 mm x 200 mm

Scaffale campioni

Dimensioni del campione :Configurazione di base dello spazio aperto up to 200 mm x 200 mm, Spessore fino a 20 mm
Peso del campione :< 500="">

ottica

10 volte (0,23 N.A.) obiettivo a lunga distanza di lavoro (risoluzione di 1 µm)
Immagini coassiali intuitive della superficie del campione e del braccio
Visione : 840 × 630 µm (con obiettivo 10x)
CCD1 megapixel, 5 megapixel (opzionale)

Il software

SmartScan ™

Software dedicato al controllo del sistema AFM e alla raccolta dei dati
Configurazione rapida della modalità intelligente e imaging semplice
Utilizzo avanzato della modalità manuale e controllo di scansione più preciso

XEI

Software di analisi dei dati AFM

elettronica

Capacità di integrazione
Amplificatore a blocco digitale a 4 canali
DatiIl controllo Q

Elaborazione del segnale

ADC :18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensor

DAC :17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioning

Maximum data size :4096 x 4096 pixels

Collegare segnali esterni
20 porte di ingresso/uscita incorporate
5 uscite TTL:EOF, EOL, EOP, Modulazione e pressione di scambio